磁控溅射镀膜机

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北京创世威纳科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及镀膜设备领域，尤其是涉及一种磁控溅射镀膜机，包括驱动机构和磁控靶；磁控溅射镀膜机的真空腔室设置有旋转基座，驱动机构位于旋转基座的侧部；驱动机构包括第一驱动部、第二驱动部和第三驱动部；第一驱动部与磁控靶连接以驱动磁控靶俯仰摆动；第二驱动部与第一驱动部连接以驱动第一驱动部平移，使磁控靶靠近或者远离旋转基座上的工件；第三驱动部与第二驱动部连接以驱动第二驱动部升降，使磁控靶对工件的高度方向各处镀膜。本申请通过设置驱动机构带动磁控靶实现多维度移动，使磁控靶的位置适配于不规则形状工件表面的起伏情况，完成对异形工件的表面镀膜同时保证异形工件镀膜的均匀性。且磁控靶的尺寸更小，降低了制造难度和成本。