旋转升降机构及化学气相沉积炉

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株洲瑞德尔智能装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开一种旋转升降机构，涉及化学气相沉积技术领域，包括内部机构、密封机构、旋转机构和升降机构，内部机构伸入化学气相沉积炉内，其包括托盘，托盘内设置有顶升轴；旋转机构包括旋转驱动机构和旋转轴，旋转驱动机构能够带动旋转轴转动，且旋转轴能够沿旋转驱动机构上下移动；升降机构与旋转轴转动连接，且能够带动旋转轴上下移动；密封机构包括密封连接件及密封内轴，密封内轴能够带动密封连接件转动，并沿密封连接件上下移动，旋转轴的顶部通过密封内轴与顶升轴固定连接，密封连接件的顶部与托盘固定连接。本实用新型还公开一种化学气相沉积炉，包括上述的旋转升降机构。本实用新型能够提高涂层基体的涂层均匀性，并降低涂层盲点。