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一种载板及真空镀膜装置
申请人信息
- 申请人:苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司
- 申请人地址:215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
- 发明人: 苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种载板及真空镀膜装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420536928.0 |
| 申请日 | 2024/3/20 |
| 公告号 | CN222043345U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司 |
| 发明人 | 周剑; 刘亚南; 陈晨; 孙健; 杨艳红; 王登志 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号; 江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧 |
摘要文本
苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种载板及真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型提供一种载板，该载板可以包括用于承载待镀基片的托盘和用于承载托盘的框架，该框架可以包括两根导轨条、多根筋条和至少一个导电件。其中，多根筋条可以和两根导轨条相互连接形成网格状结构。至少一个导电件则设置在筋条的侧边或底部，并且导电件的底部低于筋条的底部，使得载板安装在热板上时，框架上的导电件与热板相互接触，大大增加了框架与热板之间的导电性，当有大功率射频电流馈入时，减少框架与热板之间电弧放电，提高产品品质以及热板和框架的使用寿命。
专利主权项内容
1.一种载板，包括用于承载待镀基片的托盘和用于承载托盘的框架，其特征在于，所述框架包括：
两根导轨条，所述两根导轨条相互平行设置；
多根筋条，其与所述两根导轨条相互连接并且纵横交错形成网格状结构；和
至少一个导电件，设置在所述筋条的底部或侧边，并且所述导电件的底部低于所述筋条底部。