新能源厚铜板内层蚀刻设备及蚀刻系统

专利主权项内容

1.一种新能源厚铜板内层蚀刻设备，包括蚀刻机，所述蚀刻机内形成有蚀刻槽，其特征在于，
所述新能源厚铜板内层蚀刻设备还包括：
提取储存泵，所述提取储存泵的输入端与所述蚀刻槽相连通；
储存罐，所述储存罐与所述提取储存泵的输出端相连通；
电解提取泵，所述电解提取泵的输入端与所述储存罐相连通；
电解装置，包括电解池及铜片取出机构，所述电解池形成有电解槽，所述铜片取出机构包括承托板及转动杆，所述承托板放置于所述电解槽的底部，两个所述转动杆的下端分别转动连接于所述承托板相对的两边缘处，两个所述转动杆的上端分别挂设于所述电解池的开口处，所述电解槽还与所述电解提取泵的输出端相连通；
蚀刻液回收泵，所述蚀刻液回收泵的输入端与所述电解槽相连通；
再生液储存罐，所述再生液储存罐与所述蚀刻液回收泵的输出端相连通；
再生液回流泵，所述再生液回流泵的输入端与所述再生液储存罐相连通，所述再生液回流泵的输出端与所述蚀刻槽相连通。