一种氧化镓晶体生长装置

专利主权项内容

1.一种氧化镓晶体生长装置，其特征在于，包括：
生长炉，所述生长炉为分体式结构，所述生长炉包括底座、侧保温筒、加热线圈以及盖板，所述加热线圈位于所述侧保温筒的外部并能够对其进行加热，所述侧保温筒可滑动地设置于所述底座与所述加热线圈之间；所述盖板位于所述侧保温筒的顶部，且所述底座、所述侧保温筒以及所述盖板围成生长腔体，所述生长腔体内设置有能够容纳氧化镓熔体的坩埚组件，所述侧保温筒相对于所述底座往复滑动能够改变所述生长腔体的容积；所述盖板包括外侧盖板和中心盖板，所述外侧盖板与所述侧保温筒相连，所述外侧盖板具有散热孔，所述散热孔与所述生长腔体相连通，所述散热孔与所述侧保温筒同轴设置，所述中心盖板滑动设置于所述散热孔处，所述中心盖板的滑动方向平行于所述散热孔的轴线，且所述中心盖板能够封堵所述散热孔，籽晶杆可滑动地穿过所述中心盖板后伸入所述生长腔体内，所述籽晶杆与所述散热孔同轴设置；所述盖板由绝热材质制成；
冷却机构，所述冷却机构设置于所述盖板的顶部，所述冷却机构能够吸收所述生长腔体利用所述散热孔散发的热量。