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一种靶材
申请人信息
- 申请人:宁波江丰电子材料股份有限公司
- 申请人地址:315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
- 发明人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种靶材 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323383709.8 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN222226527U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 发明人 | 姚力军; 潘杰; 戴振茜; 王学泽 |
| 地址 | 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 |
摘要文本
宁波江丰电子材料股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于物理气相沉积技术领域，公开了一种靶材，包括第一台阶和第二台阶，第一台阶和第二台阶一体成型，在第一台阶和第二台阶设有相连的花纹组，花纹组包括第一花纹和第二花纹，第一花纹设于第一台阶的侧面，第二花纹设于第二台阶的表面，第一花纹与第二花纹相互连接，第一花纹由多个凸出部连接形成，凸出部具有尖角，第二花纹与第一花纹结构相同。本实用新型的靶材，能够提升靶材边缘处反溅射物质的积累数量，延后反溅射物质的脱落，保证半导体镀膜质量的同时，还能够提高靶材的使用率，减少靶材的浪费。 微信公众号
专利主权项内容
1.一种靶材，其特征在于，包括：第一台阶(1)和第二台阶(2)，所述第一台阶(1)与所述第二台阶(2)一体成型，所述第一台阶(1)和所述第二台阶(2)设有相连的花纹组(3)，所述花纹组(3)包括第一花纹(31)和第二花纹(32)，所述第一花纹(31)设于所述第一台阶(1)的侧面，所述第二花纹(32)设于所述第二台阶(2)的上表面，所述第一花纹(31)与所述第二花纹(32)相连接，所述第一花纹(31)由多个凸出部(310)连接形成，所述凸出部(310)具有尖角，所述第二花纹(32)与所述第一花纹(31)结构相同。。更多数据：搜索来源：