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一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置
申请人信息
- 申请人:山东伟基炭科技有限公司
- 申请人地址:250102 山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号
- 发明人: 山东伟基炭科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420344692.0 |
| 申请日 | 2024/2/23 |
| 公告号 | CN222226548U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 发明人 | 刘岩; 耿广仁; 赵俊杰 |
| 地址 | 山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号 |
摘要文本
山东伟基炭科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供的一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置涉及化学气相沉积炉技术领域。具体包括扣设于化学气相沉积炉底板出气口处的导流盖，所述的导流盖包括呈锥形结构的导流部，所述导流部的上端设置有封闭端部，所述的导流部上设置有散气孔，且所述散气孔的轴线呈倾斜状态。本申请提供的一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置可以明显改善马弗筒内的气氛均匀性，从而提高沉积产品表面的涂层均匀性，提高产品质量及使用寿命。
专利主权项内容
1.一种用于化学气相沉积炉的分散排气装置，其特征在于：包括扣设于化学气相沉积炉底板出气口(1)处的导流盖(21)，所述的导流盖(21)包括呈锥形结构的导流部(211)，所述导流部(211)的上端设置有封闭端部(212)，所述的导流部(211)上设置有散气孔(2111)，且所述散气孔(2111)的轴线呈倾斜状态。