一种真空炉用发热件的固定装置

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中电化合物半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种真空炉用发热件的固定装置，至少包括：真空炉，包括炉壁，所述炉壁沿着所述真空炉的重力方向设置；孔洞，设置在所述炉壁上；发热件，设置在所述真空炉内；石墨电极，垂直于所述炉壁设置，且所述石墨电极的一端与所述发热件连接，另一端穿过所述孔洞；铜电极，所述铜电极的一端与所述石墨电极远离所述发热件的一端连接，另一端向远离所述真空炉的一侧延伸；电缆，与所述铜电极远离所述真空炉的一端连接；保温结构，环绕所述石墨电极，设置在所述真空炉内；以及调节结构，环绕所述铜电极，设置在所述真空炉外。本实用新型提供的固定装置，能够释放发热件的热膨胀应力，减轻原料蒸汽在保温结构和石墨电极上沉积的现象。