← 返回列表
PECVD气体喷淋件、成膜系统及制造方法
申请人信息
- 申请人:比亚迪股份有限公司; 深圳比亚迪汽车实业有限公司
- 申请人地址:518118 广东省深圳市坪山区比亚迪路3009号
- 发明人: 比亚迪股份有限公司; 深圳比亚迪汽车实业有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | PECVD气体喷淋件、成膜系统及制造方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202211057689.2 |
| 申请日 | 2022/8/31 |
| 公告号 | CN117660931A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 比亚迪股份有限公司; 深圳比亚迪汽车实业有限公司 |
| 发明人 | 赵树明; 王晓华; 张坤; 唐柳平 |
| 地址 | 广东省深圳市坪山区比亚迪路3009号; |
摘要文本
本公开涉及一种PECVD气体喷淋件、成膜系统及制造方法，该气体喷淋件包括喷淋主体，喷淋主体包括进气板、排气板以及形成在进气板和排气板之间的布气腔，进气板上形成与布气腔连通的进气流道，排气板上形成有与布气腔连通的多个第一排气孔，喷淋主体一体成型，以能够有效地简化了复杂的制造和装配工艺，同时实现工艺气体均匀地喷淋，成膜质量高。
专利主权项内容
1.一种PECVD气体喷淋件，其特征在于，包括喷淋主体，所述喷淋主体包括进气板、排气板以及形成在所述进气板和所述排气板之间的布气腔，所述进气板上形成与所述布气腔连通的进气流道，所述排气板上形成有与所述布气腔连通的多个第一排气孔，所述喷淋主体一体成型。