一种硅基样品划片装置

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武汉理工大学取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型的技术方案提供一种硅基样品划片装置，包括样品平台、刻头组件、线性驱动件以及显微镜；刻头组件包括伸缩件、压力传感器和刻划头，所述刻划头设置在伸缩件的活动端，所述压力传感器设置在所述刻划头与伸缩件之间，用于检测刻划头的刻划压力；线性驱动件其安装在样品平台上方，且活动端与所述刻头组件连接，用于驱动刻头组件进行线性移动。本实用新型通过刻头组件和线性驱动件的配合，可控施压压力，并具有线性导向的进行划片，刻划方向稳定，划线成功率高，避免了施压压力过大导致的硅基样品破裂，再配合显微镜，以其上的标线，便于对刻线位置进行校准定位和监视整个刻划过程，便于控制划片的位置精度。