一种手动精密调节镜筒垂直度的装置
申请人信息
- 申请人:苏州中特微电子科技有限公司
- 申请人地址:215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道交通路1188号
- 发明人: 苏州中特微电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种手动精密调节镜筒垂直度的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420847923.X |
| 申请日 | 2024/4/23 |
| 公告号 | CN222232869U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | G03F9/00 |
| 权利人 | 苏州中特微电子科技有限公司 |
| 发明人 | 傅舰艇; 林世超; 邹林 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴江区江陵街道交通路1188号 |
摘要文本
苏州中特微电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于接近式掩膜光刻设备技术领域，公开了一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座，固定座一侧的两端对称设有连接块，一对连接块的一侧均安装有固定块，每对连接块和固定块的之间均设有固定槽，两对固定槽的内部均夹持有连接座，一对连接座的一侧均转动连接有X轴，一对连接座的其中一个内部安装有调节机构一，且调节机构一与X轴传动连接，一对X轴的之间固定连接有安装座，安装座的内部转动安装有Y轴，安装座的内部安装有调节机构二，且调节机构二与Y轴传动连接。本装置通过调节机构一和调节机构二的配合使用，能够精密控制镜筒本体纵向和横向角度的调节，消除套刻误差，大大降低了加工精度需求和装调难度。
专利主权项内容
1.一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)一侧的两端对称设有连接块(103)，一对所述连接块(103)的一侧均安装有固定块(2)，每对所述连接块(103)和固定块(2)的之间均设有固定槽(201)，两对所述固定槽(201)的内部均夹持有连接座(3)，一对所述连接座(3)的一侧均转动连接有X轴(301)，一对所述连接座(3)的其中一个内部安装有调节机构一，且所述调节机构一与X轴(301)传动连接，一对所述X轴(301)的之间固定连接有安装座(4)，所述安装座(4)的内部转动安装有Y轴(401)，所述安装座(4)的内部安装有调节机构二，且所述调节机构二与Y轴(401)传动连接，所述Y轴(401)的一端延伸至安装座(4)的一侧外部并固定连接有安装块一(5)，所述安装块一(5)的一侧安装有安装块二(6)，所述安装块一(5)和安装块二(6)的之间设有夹持槽(601)，且所述夹持槽(601)的内部夹持有镜筒本体(7)。