导流装置和半导体设备

摘要文本

甬矽半导体(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种导流装置和半导体设备，涉及晶圆加工技术领域，该导流装置包括导流盖和均匀搅流板，导流盖用于设置在反应室的顶部，且导流盖上开设有多个导流孔，每个导流孔均用于贯通至反应室，用于向反应室输送工艺气体，均匀搅流板可转动地设置在导流盖的底侧，并遮挡部分导流孔，其中均匀搅流板能够在导流孔中气流的推动下相对导流盖转动，以搅动导流盖底侧的气体。相较于现有技术，本实用新型提供的导流装置，能够利用均匀搅流板的搅流作用，使得反应腔内输入的工艺气体均匀流动，使得刻蚀更加均匀，防止化学沉积不均匀。