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一种晶圆搬运机械臂总成
摘要文本
菲科半导体(张家港)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体晶圆加工处理领域，具体为一种晶圆搬运机械臂总成，机座固定安装在设备机台中，升降组件安装在机座内部，驱动升降空心轴进行升降动作；转塔组件可转动装配在升降空心轴上，双臂组件固定在转塔组件的输出端，双臂组件的输出端连接有腕部组件，吸附手指连接在腕部组件末端；机座包括顶板、立板和底板；本实用新型，采用纵向升降搭配双臂结构伸缩，实现在有限的纵向空间内，执行末端的自由控制，双臂结合双轮带传动，将转动角转化后，再次反转，并且运行末端运动过程中，在竖直空间内无干扰；由转塔组件和升降空心轴进行转动角度大范围调整，降低整体的空间占用，提高设备内部的使用效率，可实现高效的多维搬运动作。。更多数据：搜索来源：
专利主权项内容
1.一种晶圆搬运机械臂总成，其特征在于，包括机座(2)、升降组件、升降空心轴(4)、转塔组件(5)、双臂组件、腕部组件(8)和吸附手指(9)；所述机座(2)固定安装在设备机台中，所述升降组件安装在机座(2)内部，驱动升降空心轴(4)进行升降动作；所述转塔组件(5)可转动装配在升降空心轴(4)上，双臂组件固定在转塔组件(5)的输出端，所述双臂组件的输出端连接有腕部组件(8)，所述吸附手指(9)连接在腕部组件(8)末端；所述机座包括顶板(21)、立板(23)和底板(22)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆搬运机械臂总成 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420560886.4 |
| 申请日 | 2024/3/22 |
| 公告号 | CN222233593U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 菲科半导体(张家港)有限公司 |
| 发明人 | 谭良恒; 石成林; 戴晓松 |
| 地址 | 江苏省苏州市张家港市塘桥镇弘吴大道199号29幢 |