一种增加对晶圆真空吸附力的chuck盘

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苏州科阳半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种增加对晶圆真空吸附力的chuck盘，保留了现有chuck盘上的真空孔和pin针孔，还在chuck盘上表面加工有凹槽，凹槽的形式有多样，包括不规则形、同心圆和同心正方形；凹槽的加工，能够增加晶圆与chuck盘的真空吸附面积，保证晶圆在吸附过程中紧紧地贴附在chuck盘上，稳定完成喷涂作业，且无需人为手动干预，显著提高晶圆的良率。