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一种防静电拆片吸附装置

申请号: CN202420900772.X
申请人: 天津佳盛新材料科技有限公司
更新日期: 2026-05-18

摘要文本

天津佳盛新材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及拆片吸附设备技术领域,具体的说是一种防静电拆片吸附装置,包括基座,所述基座顶端表面开设有用于配合晶片的孔槽,且孔槽有多组,所述基座内侧开设有与孔槽相连通的竖孔,且竖孔有多组;在需要对孔槽内侧的晶片进行拆卸时,此时真空泵停止运作且基座内侧空腔中的气压保持稳定,然后使得基座外周管座外侧的电磁泄压阀运作,使得基座内侧的压力得到释放,此时基座内侧竖孔中的活塞在没有负压力进行吸紧时,环座与活塞之间两组圈体之间的弹簧能够释放被收紧的弹力,且环座的位置固定,使得弹簧能够反推圈体并带动活塞进行移动,使得活塞上升并带动顶头进行移动,使得顶头能够顶出基座表面孔槽中的晶片,便于对其进行拆卸。

专利主权项内容

1.一种防静电拆片吸附装置,其特征在于,包括基座(1),所述基座(1)顶端表面开设有用于配合晶片的孔槽(2),且孔槽(2)有多组,所述基座(1)内侧开设有与孔槽(2)相连通的竖孔(3),且竖孔(3)有多组,所述竖孔(3)内侧滑动安装有用于调节的活塞(5),且活塞(5)顶端表面装配有位于孔槽(2)内侧的顶头(4),所述竖孔(3)内侧螺合安装有用于限位的环座(6),且活塞(5)底端表面一体构造有与环座(6)相插合连接的竖杆(7);
所述环座(6)与活塞(5)相对一面均装配有用于支撑的圈体(8),且两组圈体(8)之间装配有弹簧(9),所述基座(1)外周表面装配有管座(13),且管座(13)外周表面装配有电磁泄压阀(15)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种防静电拆片吸附装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420900772.X
申请日 2024/4/28
公告号 CN222233605U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 H01L21/683
权利人 天津佳盛新材料科技有限公司
发明人 张玉岩
地址 天津市武清区河北屯镇河北屯村