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晶圆载台和晶圆覆膜设备
摘要文本
甬矽半导体(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供的一种晶圆载台和晶圆覆膜设备，涉及半导体设备技术领域。该晶圆载台包括底座和清洁环。底座上设有放置台。放置台用于承载晶圆。清洁环连接在底座上，且能沿底座的轴向移动。清洁环上设有吹气孔，吹气孔用于朝放置台吹气，实现对放置台的清洁目的。
专利主权项内容
1.一种晶圆载台，其特征在于，包括：
底座，所述底座上设有放置台；所述放置台用于承载晶圆；
清洁环，所述清洁环连接在所述底座上，且能沿所述底座的轴向移动；所述清洁环上设有吹气孔，所述吹气孔用于朝所述放置台吹气。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆载台和晶圆覆膜设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421010953.1 |
| 申请日 | 2024/5/10 |
| 公告号 | CN222233607U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 甬矽半导体(宁波)有限公司 |
| 发明人 | 何正鸿; 吴春悦; 邹浩林 |
| 地址 | 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号 |