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一种MEMS器件
申请人信息
- 申请人:准懋(杭州)科技有限公司
- 申请人地址:311215 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设二路858号集成电路设计产业园D幢111室
- 发明人: 准懋(杭州)科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种MEMS器件 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202210875328.2 |
| 申请日 | 2022/7/25 |
| 公告号 | CN117490732A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | G01D5/241 |
| 权利人 | 准懋(杭州)科技有限公司 |
| 发明人 | 丁海涛 |
| 地址 | 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设二路858号集成电路设计产业园D幢111室 |
摘要文本
关注公众号专利查询网 。公开了一种MEMS器件，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第一反馈电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第一反馈电极板与所述可动电极板构成第一反馈电容；位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第二反馈电极板，所述第二电极板与所述可动电容构成第二电容，所述第二反馈电极板与所述可动电极板构成第二反馈电容；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至检测电路，所述检测电路用于对所述第一电容和所述第二电容进行差分检测；所述第一反馈电容和所述第二反馈电容连接至反馈电路，所述反馈电容用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。
专利主权项内容
1.一种MEMS器件，其中，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第一反馈电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第一反馈电极板与所述可动电极板构成第一反馈电容；位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第二反馈电极板，所述第二电极板与所述可动电容构成第二电容，所述第二反馈电极板与所述可动电极板构成第二反馈电容；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至检测电路，所述检测电路用于对所述第一电容和所述第二电容进行差分检测；所述第一反馈电容和所述第二反馈电容连接至反馈电路，所述反馈电容用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。