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一种声波谐振器及通信器件
申请人信息
- 申请人:上海馨欧集成微电有限公司
- 申请人地址:201807 上海市嘉定区城北路378号1601室
- 发明人: 上海馨欧集成微电有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种声波谐振器及通信器件 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311794811.9 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117713739A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H03H9/25 |
| 权利人 | 上海馨欧集成微电有限公司 |
| 发明人 | 张丽萍 |
| 地址 | 上海市嘉定区城北路378号1601室 |
摘要文本
上海馨欧集成微电有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种声波谐振器及通信器件。声波谐振器包括支撑衬底和谐振腔结构，谐振腔结构位于支撑衬底上，谐振腔结构包括阻抗调控区和叉指电极；通过调控阻抗调控区的结构参数和性能参数，结合质量加载效应调整声波分量在声波谐振器的厚度方向的分布，减少目标高声速模式在厚度方向的泄露，从而能够有效约束目标声波模式的能量，激发并利用高声速的声波模式获得高频谐振响应；调控叉指电极覆盖的区域与叉指电极未覆盖区域的阻抗匹配，调控声波声速，实现声波模式的融合，抑制伪模杂散响应，并提高机电耦合系数。
专利主权项内容
1.一种声波谐振器，其特征在于，包括：支撑衬底；谐振腔结构，所述谐振腔结构位于所述支撑衬底上，所述谐振腔结构包括阻抗调控区和叉指电极；通过调控所述阻抗调控区的结构参数和性能参数能够调整声波分量在声波谐振器的厚度方向的分布，以及调控叉指电极覆盖的区域与叉指电极未覆盖区域的阻抗匹配；所述声波谐振器的目标模式是由声波传播方向，和/或，所述声波谐振器的厚度方向的电场激励产生的。