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一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法
申请人信息
- 申请人:上海晶维材料科技有限公司
- 申请人地址:201800 上海市嘉定区汇旺东路599号2幢1层A区、2层A区
- 发明人: 上海晶维材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311393006.5 |
| 申请日 | 2023/10/25 |
| 公告号 | CN117431511A |
| 公开日 | 2024/1/23 |
| IPC主分类号 | C23C14/34 |
| 权利人 | 上海晶维材料科技有限公司 |
| 发明人 | 鲁涛 |
| 地址 | 上海市嘉定区汇旺东路599号2幢1层A区、2层A区 |
摘要文本
上海晶维材料科技有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及吸气剂技术领域，尤其涉及IPC C23C14，更具体地涉及，一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法。本发明提供了一种多元合金靶材，其成分包括主体元素Ti、Zr、Ta或Nb、必选元素W和可选元素Mo、Cr、Mn、Ni、Y、Co、Ce、Fe或La；本发明中，必选元素W和可选元素M的添加、以及采用特殊制备靶材工艺、特殊的成膜工艺和特殊的低密度微米尺度缺陷与高密度纳米尺度缺陷的联合梯度结构设计，使得薄膜吸气剂在高的吸氢速率的基础上，同时具有高的吸氮速率；解决传统吸气薄膜中吸气性能与抗振动冲击能力的矛盾问题，提高了吸气剂所服役器件的寿命和可靠性，抗扩展了其应用领域。。该数据由<专利查询网>整理
专利主权项内容
1.一种多元合金靶材，其特征在于，其成分包括主体元素A、必选元素W和可选元素M；所述主体元素含量为50wt％～97wt％，必选元素W的含量为0.5～30wt％，可选元素M含量为0～20wt％，M≠0；所述主体元素A包括Ti、Zr、Ta、Nb元素中的一种或多种；所述可选元素M包括Mo、Cr、Mn、Ni、Y、Co、Ce、Fe、La中的一种或多种。