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样品装载组件及真空系统
申请人信息
- 申请人:费勉仪器科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201900 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢
- 发明人: 费勉仪器科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 样品装载组件及真空系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202320005303.7 |
| 申请日 | 2023/11/15 |
| 公告号 | CN220597620U |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 费勉仪器科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 谢斌平; 王天邻; 陈飞; 杨贺鸣 |
| 地址 | 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢 |
摘要文本
费勉仪器科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本公开提供了一种样品装载组件及真空系统。样品装载组件包括托盘，包括至少一个工艺面，所述工艺面开设有多个工位卡槽，所述工位卡槽用于容纳多片样品；多个弹性夹，位于托盘的工艺面上，与所述多个工位卡槽一一对应，所述弹性夹固定于对应的工位卡槽一侧，用于固定所述多片样品。本公开真空系统包括所述样品装载组件，本公开提高了产能。
专利主权项内容
1.一种样品装载组件，其特征在于，包括：托盘，包括至少一个工艺面，所述工艺面开设有多个工位卡槽，所述工位卡槽用于容纳多片样品；多个弹性夹，位于托盘的工艺面上，与所述多个工位卡槽一一对应，所述弹性夹固定于对应的工位卡槽一侧，用于固定所述多片样品。 更多数据：