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一种半导体检测光路角度微调机构、设备及方法
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体检测光路角度微调机构、设备及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311489835.3 |
| 申请日 | 2023/11/9 |
| 公告号 | CN117538254A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | G01N21/01 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 胡伟雄; 李晓飞; 李明瑞 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种半导体检测光路角度微调机构、设备及方法，包括直线调节机构、调节板、支撑板和检测光路；所述直线调节结构包括至少一个微分头，通过调节所述微分头使所述调节板转动以调节光路；所述支撑板包括两个支撑板，分为角度微调支撑板和微分头支撑板；所述调节板与所述支撑板通过销轴活动连接；所述支撑板上设有安装孔，连接有所述微分头，所述微分头穿过微分头支撑板与角度微调支撑板相连，所述微分头支撑板为L型结构，短边设有微分头安装孔；所述检测光路固定连接于所述调节板处，所述调节板转动后带动所述检测光路从而实现光路角度的调节。
专利主权项内容
1.一种半导体检测光路角度微调机构，其特征在于，包括：直线调节机构、调节板、支撑板和检测光路；所述直线调节机构安装于所述调节板的侧面；所述调节板与所述支撑板活动连接，且所述调节板平行连接于所述支撑板；所述检测光路连接于所述调节板，通过调节所述直线调节机构使所述调节板转动从而带动所述检测光路以实现角度微调；所述直线调节机构的调节方向与调节板转动的轴线不共线。