用于传输晶圆的机械手以及半导体处理设备
申请人信息
- 申请人:上海普达特半导体设备有限公司
- 申请人地址:201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1387号33幢101(复式)室
- 发明人: 上海普达特半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于传输晶圆的机械手以及半导体处理设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311535589.0 |
| 申请日 | 2023/11/17 |
| 公告号 | CN117373994A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 上海普达特半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 张渊博; 金浩; 黄允文 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1387号33幢101(复式)室 |
摘要文本
上海普达特半导体设备有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本公开内容公开了一种用于传输晶圆的机械手，包括：第一手指，其第一端上设置有第一挡块和第二挡块；至少两个第二手指，其被设置在所述第一手指的两侧，所述至少两个第二手指分别包括设置在与所述第一端相对的第二端上的第三挡块和第四挡块；以及驱动装置，其能够驱动所述第一手指和所述第二手指相向运动，第一挡块、第二挡块、第三挡块和第四挡块中的每个挡块均分别具有第一台阶面和第二台阶面，第一挡块的第一台阶面、第二挡块的第一台阶面、所述第三挡块的第一台阶面和所述第四挡块的第一台阶面处于一个平面上，并且所述第一挡块的第二台阶面、所述第二挡块的第二台阶面、所述第三挡块的第二台阶面和所述第四挡块的第二台阶面处于一个平面上。 百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种用于传输晶圆的机械手，其特征在于，所述机械手包括：第一手指，所述第一手指的第一端上设置有第一挡块和第二挡块；至少两个第二手指，所述至少两个第二手指被设置在所述第一手指的两侧，所述至少两个第二手指分别包括设置在与所述第一端相对的第二端上的第三挡块和第四挡块；所述机械手包括第一夹块和第二夹块，其中，所述第一夹块用于在第一高度上夹紧晶圆，并且其中，所述第二夹块用于在第二高度上夹紧晶圆，并且其中，所述夹块相对于所述第一手指的移动方向朝向圆周中心；以及驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述第一手指和所述第二手指相向运动，其中，所述第一挡块、所述第二挡块、所述第三挡块和所述第四挡块中的每个挡块均分别具有第一台阶面和第二台阶面，并且其中，所述第一挡块的第一台阶面、所述第二挡块的第一台阶面、所述第三挡块的第一台阶面和所述第四挡块的第一台阶面处于一个平面上，并且所述第一挡块的第二台阶面、所述第二挡块的第二台阶面、所述第三挡块的第二台阶面和所述第四挡块的第二台阶面处于一个平面上。