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一种晶圆检测用反光镜卡盘
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆检测用反光镜卡盘 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311506783.6 |
| 申请日 | 2023/11/13 |
| 公告号 | CN117542785A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 李明瑞; 梁安生 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本说明书实施例提供一种晶圆检测用反光镜卡盘，包括：卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处。通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量。
专利主权项内容
1.一种晶圆检测用反光镜卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处。