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抽气组件、薄膜沉积设备及方法、存储介质
申请人信息
- 申请人:拓荆科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室
- 发明人: 拓荆科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 抽气组件、薄膜沉积设备及方法、存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311361367.1 |
| 申请日 | 2023/10/19 |
| 公告号 | CN117626220A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | C23C16/44 |
| 权利人 | 拓荆科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 李连杰; 尹艳超; 李洪昊 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室 |
摘要文本
拓荆科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供了一种抽气组件、一种薄膜沉积设备及方法，以及一种计算机可读存储介质。所述抽气组件包括下抽气环及上抽气环。所述下抽气环位于工艺腔室的下方，其下设有抽气孔，以经由沿所述下抽气环周向设置的多个第一过气孔进行环状抽气。所述上抽气环位于所述下抽气环的上方，其高度不高于晶圆托盘。沿所述上抽气环的周向设有多个第二过气孔，用于在所述环状抽气的作用下，从所述晶圆托盘的上方均匀抽气。
专利主权项内容
1.一种抽气组件，其特征在于，包括：下抽气环，位于工艺腔室的下方，其下设有抽气孔，以经由沿所述下抽气环周向设置的多个第一过气孔进行环状抽气；上抽气环，位于所述下抽气环的上方，其高度不高于晶圆托盘，其中，沿所述上抽气环的周向设有多个第二过气孔，用于在所述环状抽气的作用下，从所述晶圆托盘的上方均匀抽气。