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一种环形暗场光纤装置
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种环形暗场光纤装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311324129.3 |
| 申请日 | 2023/10/12 |
| 公告号 | CN117388976A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | G02B6/00 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 胡伟雄; 梁安生; 任晓静; 秦雪飞 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种环形暗场光纤装置，涉及晶圆检测技术领域。所述环形暗场光纤装置包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头的光纤NA角度小于光纤倾斜角度，且每个环形光纤头的工作距的范围为5mm‑40mm，每个环形光纤头的环形光纤厚度的范围为8mm‑25mm，利用环形暗场光纤能够更快速有效地检测出晶圆的划痕、颗粒和隐裂等，解决了明场照明很难检测出或容易漏检的技术缺陷，提升了半导体制造领域良率水平。
专利主权项内容
1.一种环形暗场光纤装置，其特征在于，包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头的光纤NA角度小于光纤倾斜角度，且每个环形光纤头的工作距的范围为5mm-40mm，每个环形光纤头的环形光纤厚度的范围为8mm-25mm。