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缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质
申请人信息
- 申请人:上海朋熙半导体有限公司
- 申请人地址:201208 上海市浦东新区涵桥路619号金鼎天地C栋15-17楼
- 发明人: 上海朋熙半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311467228.7 |
| 申请日 | 2023/11/6 |
| 公告号 | CN117611879A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | G06V10/764 |
| 权利人 | 上海朋熙半导体有限公司 |
| 发明人 | 乔海瑞 |
| 地址 | 上海市浦东新区涵桥路619号金鼎天地C栋15-17楼 |
摘要文本
上海朋熙半导体有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读介质。通过获取待检测对象的待检测图像，将所述待检测图像输入至预先训练的缺陷检测模型中，得到所述缺陷检测模型输出的缺陷检测类别以及各所述缺陷检测类别对应的类别置信度；根据各所述缺陷检测类别和各所述缺陷检测类别对应的类别置信度，确定候选缺陷类别；获取晶圆特征图，基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别；根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别。可以至少用以解决半导体缺陷定位不准确的技术问题。
专利主权项内容
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：获取待检测对象的待检测图像，将所述待检测图像输入至预先训练的缺陷检测模型中，得到所述缺陷检测模型输出的缺陷检测类别以及各所述缺陷检测类别对应的类别置信度；根据各所述缺陷检测类别和各所述缺陷检测类别对应的类别置信度，确定候选缺陷类别；获取晶圆特征图，基于所述晶圆特征图确定晶圆缺陷类别；根据所述候选缺陷类别和所述晶圆缺陷类别确定所述待检测图像的目标缺陷类别。