一种适用不规则wafer的匀胶托盘

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武汉光迅科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种适用不规则wafer的匀胶托盘。其主要包括托盘底座，所述托盘底座中部设置有真空孔，所述托盘底座侧面设置有至少三个伸缩结构，所述伸缩结构的一端固定在所述托盘底座侧面，所述伸缩结构的另一端连接有压挡结构并朝向所述托盘底座的中部伸出。本实用新型可以提供一种适用不规则wafer的匀胶托盘，使用时可根据wafer形状来调整伸缩杆位置，使得匀胶时可对不规则wafer进行固定，在真空孔吸附力度不足的情况下，也能够保证wafer进行高速旋转不被甩飞，大大提高了匀胶过程的安全性。