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一种改进型低温泵
申请人信息
- 申请人:上海优尊真空设备有限公司
- 申请人地址:201316 上海市浦东新区新场镇古博路28、30号4幢102室
- 发明人: 上海优尊真空设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种改进型低温泵 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311658773.4 |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN117489563A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | F04B37/08 |
| 权利人 | 上海优尊真空设备有限公司 |
| 发明人 | 崔汉博; 崔汉宽; 王占杰 |
| 地址 | 上海市浦东新区新场镇古博路28、30号4幢102室 |
摘要文本
上海优尊真空设备有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种改进型低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；本发明中的改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10‑9Pa，不引入其他的杂质，保证加工精度。通过制冷装置进行制冷，主要对冷屏以及冷伞结构进行降温，形成低温环境尤其是冷伞结构可达到超低温即10K的温度，在低温环境下，冷伞上设置的吸附剂可以将环境中气体分子进行吸附并凝固在其上，实现真空环境。所述冷屏采用铜材质制成且内侧壁上镀覆有镍涂层，即在冷屏内壁上设置有黑色涂层，反射辐射的热能，防止热量反射至冷伞上，减少热辐射对真空环境可能造成的波动。
专利主权项内容
1.一种改进型低温泵，其特征在于，包括外壳体(1)、冷屏(2)、冷伞(3)以及制冷装置；所述外壳体(1)设置为一端开口的中空结构，所述冷屏(2)固定设置在外壳体(1)的内部且结构相适配，所述冷伞(3)设置在冷屏(2)内，所述冷伞(3)的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞(3)连接，为冷屏(2)内提供制冷作用。 微信公众号马克数据网