一种晶圆上料机构

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广东长信精密设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆上料机构，包括：底板、直线运动组件、导轨、药液盒和料盒，所述直线运动组件固定在所述底板上，所述直线运动组件的两侧对称设有所述导轨，所述直线运动组件的输出端以及所述导轨上的滑块均和所述药液盒固定，所述药液盒上端开口且内部设有药液腔，所述药液腔底部设有进液管道和出液管道，所述进液管道和所述出液管道和外界供液装置连通，所述料盒位于所述药液腔内，所述料盒内设有用于放置晶圆片的容纳腔，所述料盒底部设有和所述药液腔连通的过液口。本实用新型的有益效果：降低生产安全风险，避免晶圆长时间与外部环境接触被灰尘污染；避免晶圆长时间暴露在空气中被氧化，提高晶圆的加工质量。