一种晶圆检测上料装置

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泰克半导体装备(深圳)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆检测上料装置，包括机架，机架上设有料盒模组、摆臂模组以及晶圆定位模组，料盒模组与晶圆定位模组相对设置在机架两侧，摆臂模组设在机架中部；机架上设有水平移动机构，摆臂模组包括上下设置的双摆臂，双摆臂可滑动设在水平移动机构上，机架中部还设有升降机构，水平移动机构下方设有旋转机构，水平移动机构通过旋转机构设在升降机构上；晶圆定位模组包括固定座、吸附平台以及纠偏块，纠偏块相对设置并且分别设在吸附平台两侧。通过将摆臂模组设置在升降机构上调整摆臂的高度，从而对应到料盒中所需上料的晶圆位置，无需移动料盒，保证料盒内晶圆的稳定。并且设有晶圆定位模组将晶圆纠偏，保证后续转移晶圆位置对齐。