一种用于芯片测试的吹气装置

专利主权项内容

1.一种用于芯片测试的吹气装置，其特征在于，包括进气盒和出气盒，所述出气盒固定于环形探针塔组合件上，所述环形探针塔组合件包括PCB板和固定于所述PCB板中心的环形探针塔，所述出气盒设置于所述环形探针塔的中心且与所述PCB板密封连接，所述PCB板上设置有贯通的联通孔，所述联通孔联通所述出气盒，所述出气盒的顶部设置有出气孔；所述进气盒设置于方形探针塔组合件上，所述进气盒的顶面设置有进气孔，所述进气孔与所述联通孔对应设置，所述方形探针塔组合件设置于所述环形探针塔组合件下方并与所述环形探针塔组合件连接时，所述进气盒位于所述出气盒的下方与所述PCB板抵接，且所述进气孔与所述联通孔联通；所述进气盒连接有外部进气设备，探针接口板设置于所述环形探针塔组合件上时，所述探针接口板的针卡与所述环形探针塔对接，通入所述进气盒中的气体经由所述进气孔、所述联通孔、所述出气盒从所述出气孔流出并从所述环形探针塔与所述针卡之间的间隙散逸。