一种PEEK清洗花篮

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广东迈捷微新材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种PEEK清洗花篮，包括清洗花篮结构，清洗花篮结构包括主体板，主体板连接处设有第一挡板和第二挡板，主体板底部设有底板，底板顶部设有侧板，侧板之间设有晶圆，侧板与晶圆连接处设有槽齿板；槽齿板结构包括位于槽齿板上的容置槽，底板为锯齿状，主体板、第一挡板、第二挡板、底板、侧板和槽齿板均采用PEEK作为材料。本实用新型通过PEEK材料使晶圆花篮整体在260℃情况下使用花篮整体变化较小；通过PEEK材料结构更加稳定，通过PEEK材料防静电性能好，更好保护晶圆电路以及减少颗粒吸附，通过PEEK材料能够耐受酸碱，清洗花篮为6寸能够适配6寸的晶圆。