晶圆盒传输机构、晶圆盒存储设备及自动物料搬运系统

专利主权项内容

1.一种晶圆盒传输机构，其特征在于，包括：
第一轨道，所述第一轨道沿第一方向延伸，其两端分别用于与天车传输设备的天车、存储库对接；
第二轨道；所述第二轨道包括与所述第一轨道在第二方向上间隔并行且在所述第一方向上间隔布置的第一轨道段和第二轨道段，所述第一轨道段远离所述第二轨道段的一端用于与所述天车对接，所述第二轨道段远离所述第一轨道段的一端用于与所述存储库对接；在所述第二方向上，所述第一轨道段与所述第一轨道的间距小于所述第二轨道段与所述第一轨道的间距；
转运组件，所述转运组件设在所述第一轨道段与所述第二轨道段之间，所述转运组件包括转运轨道，所述转运轨道可沿所述第二方向在第一位置、第二位置之间移动，在所述第一位置，所述转运轨道与所述第一轨道段连接；在所述第二位置，所述转运轨道与所述第二轨道段连接。