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一种晶圆盒搬运复合机器人
摘要文本
艾媛永旭半导体(江苏)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆盒搬运复合机器人，涉及晶圆机器人技术领域，包括机器人双向叉臂和用于对机器人双向叉臂密封防护的防护组件，所述防护组件包括安装在机器人双向叉臂外部的防护外壳，所述防护外壳的前侧开设有滑槽。本实用新型中，机器人双向叉臂在防护外壳内上升或下降的过程中通过方形阻隔板带动两个折叠帘在导向槽内折叠或拉伸，从而对滑槽密封，且不影响机器人双向叉臂的上下运动，通过设置与方形阻隔板转动连接的圆形阻隔板，在密封过程中不影响机器人双向叉臂的转动，确保了机器人双向叉臂的正常使用，因而阻隔灰尘和油分子，避免油分子外泄，避免灰尘进入机器人双向叉臂内，延长堆垛工业机器人叉臂洁净度和使用寿命。 微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种晶圆盒搬运复合机器人，包括：
机器人双向叉臂(1)；
用于对机器人双向叉臂(1)密封防护的防护组件(2)；
其特征在于，所述防护组件(2)包括安装在机器人双向叉臂(1)外部的防护外壳(201)，所述防护外壳(201)的前侧开设有滑槽(202)，所述滑槽(202)的内壁开设有导向槽(203)，所述导向槽(203)的内左侧壁和内右侧壁之间滑动连接有用于对滑槽(202)密封的方形阻隔板(204)和两个折叠帘(205)，其中一个所述折叠帘(205)安装在导向槽(203)的内顶壁与方形阻隔板(204)的顶部之间，另一个所述折叠帘(205)安装在导向槽(203)的内底壁与方形阻隔板(204)的底部之间，所述方形阻隔板(204)的中部转动连接有与机器人双向叉臂(1)插接的圆形阻隔板(206)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆盒搬运复合机器人 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420577277.X |
| 申请日 | 2024/3/25 |
| 公告号 | CN222146170U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 艾媛永旭半导体(江苏)有限公司 |
| 发明人 | 邹春阳; 侍素妹 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山市玉山镇新能源路58号1号楼521室 |