一种晶圆自动上料设备

专利主权项内容

1.一种晶圆自动上料设备，其特征在于，包括依次间隔设置的花篮运输装置、晶圆运输装置和料盒运输装置；
所述花篮运输装置包括花篮架和花篮抓手机构，所述花篮抓手装置滑动设置在花篮料架的一侧，并对花篮架上的花篮进行抓取或放置；
所述晶圆运输装置包括依次排列的晶圆取料机构、定位识别机构和晶圆运输机构，所述晶圆取料机构包括取料驱动组件和与取料驱动组件驱动连接的取料牙叉，所述取料驱动组件驱动取料牙叉在花篮抓手机构和定位识别机构之间进行晶圆运输；
所述定位识别机构包括视觉识别工位，所述视觉识别工位上固定有夹持识别组件和识别摄像头，所述夹持识别组件对晶圆夹持限位，所述识别摄像头位于夹持识别组件的上方，对晶圆进行拍摄识别，
所述晶圆运输机构包括载盘中转架、滑动驱动组件和固定在滑动驱动组件上的升降运输气缸，所述升降运输气缸上固定有运输牙叉，所述滑动驱动组件和升降运输气缸驱动运输牙叉在视觉识别工位和载盘中转架之间进行晶圆运输；
所述料盒运输装置包括料盒架和载盘运输机构，所述料盒架内通过料盒放置有多个载盘，所述载盘对晶圆进行承载，
所述载盘运输机构滑动设置在料盒架和载盘中转架之间，所述载盘运输机构包括运输升降组件和活动设置在运输升降组件上的载盘运输组件，所述载盘运输组件在料盒架和载盘中转架之间进行载盘运输。