一种晶圆装载装置及晶圆传输设备

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上海果纳半导体技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆装载装置及晶圆传输设备，晶圆装载装置包括对接板、载板、限位组件，对接板上开设有用以对接晶圆传输设备的对接开口；载板垂直布设在对接板的一侧，用以放置晶圆盒；限位组件设置在载板上，其包括沿前后方向布设的前侧限位部、后侧限位部，前侧限位部位于对接板与后侧限位部之间；后侧限位部包括后限位块，后限位块上设有与晶圆盒规格一一对应的阶梯状限位面，任一规格的晶圆盒被限位在前侧限位部与对应的阶梯状限位面之间。本实用新型能兼容多种尺寸规格的晶圆盒，进而扩大了装置的适用范围，提高了装置的利用率。