一种用于清洁刻蚀盘的载台装置

专利主权项内容

1.一种用于清洁刻蚀盘的载台装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上侧开设有两组凹槽(2)，两组所述凹槽(2)以底座(1)的中心线为对称轴对称设置，所述底座(1)的上方设置有调节承载组件(3)，所述调节承载组件(3)上放置有刻蚀盘(4)，所述底座(1)中滑动连接有集液抽屉(5)，所述调节承载组件(3)包括：
双向丝杆(31)，所述双向丝杆(31)转动连接在凹槽(2)中，所述双向丝杆(31)螺纹连接有螺纹块(32)；
承载条(33)，所述承载条(33)固定连接在螺纹块(32)的上侧，所述承载条(33)远离螺纹块(32)的一端固定连接有导向块(35)，所述导向块(35)被导向杆(36)贯穿且与导向杆(36)滑动连接；
及稳定组件(34)，所述稳定组件(34)设置在承载条(33)上。