← 返回列表

一种用于硅片加工的转盘机构

申请号: CN202422541559.7
申请人: 深圳市圭华智能科技有限公司
更新日期: 2026-06-12

摘要文本

深圳市圭华智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种用于硅片加工的转盘机构,包括放置箱,所述放置箱的上表面贯穿安装有转杆,所述转杆的外表面套有皮带,通过转杆转动90°的时候通过皮带带动转筒转动一圈,转筒带动旋转杆转动,同时会带动齿轮一转动,通过齿轮一的有齿部与活动环内部的两侧壁的齿牙相互咬合,使得齿牙的咬合可以带动活动环左右来回移动,活动环通过活动套和支撑杆固定在放置箱的上表面,当齿轮一的有齿部与活动环内壁一侧的齿牙咬合带动活动环一端外壁的机械抓手向转杆移动将转杆夹紧防止四工位转盘晃动的同时可以提高转杆转动角度的精准度,当齿轮一的有齿部与活动环内壁的另一侧的齿牙咬合带动活动环外壁机械抓手向外移动,方便转杆转动。

专利主权项内容

1.一种用于硅片加工的转盘机构,其特征在于,包括 : 放置箱(1),所述放置箱(1)的上表面贯穿安装有转杆(3),所述转杆(3)的外表面套有皮带(16),所述皮带(16)的一端内壁放置有转筒(17),所述转筒(17)的中心贯穿安装有旋转杆(20),所述旋转杆(20)的顶端外表面安装有齿轮一(21),所述齿轮一(21)的外侧安装有活动环(22),所述活动环(22)呈环形跑道状;
所述活动环(22)的两条平行边的内壁安装有齿牙(23),齿牙(23)与齿轮一(21)的有齿部咬合,所述活动环(22)的一端安装有机械抓手(24),所述活动环(22)的另一端安装有限位杆(25)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种用于硅片加工的转盘机构
专利类型 实用新型
申请号 CN202422541559.7
申请日 2024/10/21
公告号 CN222146188U
公开日 2024/12/10
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 深圳市圭华智能科技有限公司
发明人 方艳阳; 周建红; 邓超; 张立; 张伟; 王冲; 叶宗辉; 莫小辉
地址 广东省深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富屯工业区98号101