一种具备高机械强度的晶圆薄片组件

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重庆伟特森电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种具备高机械强度的晶圆薄片组件，其包括薄片晶圆、压环和支撑盘，且薄片晶圆夹在压环和支撑盘之间；薄片晶圆形状为圆形；压环形状为圆环，圆环外径大于薄片晶圆直径且内径小于薄片晶圆直径；支撑盘为圆盘，支撑盘外径大于薄片晶圆直径，且支撑盘中间凹陷，边缘带有与薄片晶圆接触的凸台。本实用新型结构简单，易于实现，且通过在薄片晶圆周边增加支撑环，可以有效提高晶圆的机械强度，保证薄片晶圆工艺的顺利进行。