一种五角棱镜垂直度检测系统及方法
申请人信息
- 申请人:上海隐冠半导体技术有限公司
- 申请人地址:201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
- 发明人: 上海隐冠半导体技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种五角棱镜垂直度检测系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311631297.7 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117367327A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | G01B11/26 |
| 权利人 | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 发明人 | 费金磊; 尉良敏; 汪展仝 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼 |
摘要文本
上海隐冠半导体技术有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种五角棱镜垂直度检测系统及方法，检测系统包括：准直光源、正交长条镜模组和垂直度检测模组；垂直度检测模组将准直光源的准直入射光分离为入射正交长条镜模组的透射光和偏转90°反射的第一反射光，透射光入射正交长条镜模组后反射，再入射垂直度检测模组后偏转270°反射出第三反射光，垂直度检测模组接收并检测计算第一反射光和第三反射光的角度差。本发明通过垂直度检测模组检测入射光和反射光之间的角度差，得到两个镜面垂直的误差、镜面和准直光源垂直的误差以求出五角棱镜的垂直度；同时配合零膨胀的基板材料，保证检测系统的位置不受温度影响产生位置偏移，以提高检测精度。
专利主权项内容
1.一种五角棱镜垂直度检测系统，其特征在于，所述五角棱镜垂直度检测系统包括：准直光源(201)、正交长条镜模组和垂直度检测模组(300)；所述正交长条镜模组包括第一长条镜(101)和第二长条镜(102)，所述第一长条镜(101)包括第一镜面(111)，所述第二长条镜(102)包括第二镜面(112)，所述第一镜面(111)与所述第二镜面(112)相互垂直设置以形成一个方角，所述第一镜面(111)和所述第二镜面(112)朝向所述方角的内侧；所述准直光源(201)包括出光口，所述出光口正对所述第二镜面(112)设置，以使移除所述垂直度检测模组(300)时，所述出光口发射出的准直入射光(511)照射至所述第二镜面(112)后产生的反射光线(502)能够回到所述出光口；所述垂直度检测模组(300)将入射所述垂直度检测模组(300)的准直入射光(511)分离为透过所述垂直度检测模组(300)入射所述正交长条镜模组的透射光(202)和经所述垂直度检测模组(300)沿第一旋转方向偏转90°反射出的第一反射光(203)，使所述透射光(202)与所述准直入射光(511)之间的角度为0°，所述透射光(202)与所述第一反射光(203)之间的角度为90°；所述透射光(202)入射所述正交长条镜模组后反射出第二反射光(204)，所述第二反射光(204)入射所述垂直度检测模组(300)后沿第一旋转方向被偏转270°反射出第三反射光(205)，所述垂直度检测模组(300)接收并检测计算所述第一反射光(203)和所述第三反射光(205)的角度差。 来自马-克-数-据-官网