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晶圆翻转装置
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200000 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆翻转装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311631142.3 |
| 申请日 | 2023/11/30 |
| 公告号 | CN117650095A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 李明瑞; 卢蒙恩 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，一种晶圆翻转装置及方法，用于对晶圆进行翻转，包括：翻转平台、夹持结构和第一驱动系统；所述夹持结构置于翻转平台上，用于夹持晶圆；所述第一驱动系统与所述翻转平台传动连接，用于驱动所述翻转平台翻转，以带动所述夹持结构夹持的晶圆翻转。本申请实施例的晶圆翻转装置在翻转过程中晶圆不会脱落，保证了晶圆翻转的安全性，从而提高了晶圆良率及检测效率。。 （来 自 专利查询网）
专利主权项内容
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，用于对晶圆进行翻转，包括：翻转平台、夹持结构和第一驱动系统；所述夹持结构置于翻转平台上，用于夹持晶圆；所述第一驱动系统与所述翻转平台传动连接，用于驱动所述翻转平台翻转，以带动所述夹持结构夹持的晶圆翻转。