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氦离子检测器及其制备方法
申请人信息
- 申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址:200050 上海市长宁区长宁路865号
- 发明人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 氦离子检测器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311526934.4 |
| 申请日 | 2023/11/15 |
| 公告号 | CN117451910A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | G01N30/72 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 发明人 | 冯飞; 祝雨晨 |
| 地址 | 上海市长宁区长宁路865号 |
摘要文本
中国科学院上海微系统与信息技术研究所获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法，在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布，以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率，使得氦离子检测器在较小体积的前提下，也能具有较低的检测限，较高的检测灵敏度。此外，该氦离子检测器采用三明治结构，适合与色谱柱结合使用或者与微色谱柱进行单片集成。
专利主权项内容
1.一种氦离子检测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基板；提供上盖板及下盖板，于所述上盖板上形成第一收集电极，于所述下盖板上形成第二收集电极及位于所述第二收集电极两侧的第一偏置电极及第二偏置电极；将所述下盖板与所述基板的下表面键合；图形化所述基板，于所述基板中形成贯穿所述基板的贯通槽、与所述贯通槽相连通的输入输出通槽及激发电极通槽，且所述贯通槽显露所述第二收集电极、所述第一偏置电极及所述第二偏置电极；将所述上盖板与所述基板的上表面键合，通过所述上盖板覆盖所述贯通槽构成闭合腔室、覆盖所述输入输出通槽构成闭合输入输出通道及覆盖所述激发电极通槽构成激发电极通道，且所述第一收集电极显露于所述闭合腔室并与所述第二收集电极对应设置构成对收集电极。