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一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置
申请人信息
- 申请人:上海征世科技股份有限公司
- 申请人地址:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
- 发明人: 上海征世科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311472192.1 |
| 申请日 | 2023/11/7 |
| 公告号 | CN117488401A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | C30B25/16 |
| 权利人 | 上海征世科技股份有限公司 |
| 发明人 | 龚闯; 蒋梅荣; 杨武; 杨春梅 |
| 地址 | 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧 |
摘要文本
上海征世科技股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置，控温散热装置包括柜体、控制系统、微波发生器、反应室、密封基板，控制系统与柜体紧固连接，微波发生器与柜体紧固连接，微波发生器与控制系统电连接，反应室与微波发生器的输出端连通，密封基板与反应室抵接，密封基板上设有沉积台，密封基板下方设有电动推杆，电动推杆与柜体紧固连接，柜体内设有散热系统，柜体为本装置的安装基础，为各组件提供稳定的工作环境，控制系统用于调控各组件的工作状态，散热系统用于控制金刚石生产过程中的温度，将温度控制在适合的区间。
专利主权项内容
1.一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置，其特征在于：所述控温散热装置包括柜体(1)、控制系统(2)、微波发生器(3)、反应室(4)、密封基板(5)，所述控制系统(2)与柜体(1)紧固连接，所述微波发生器(3)与柜体(1)紧固连接，微波发生器(3)与控制系统(2)电连接，所述反应室(4)与微波发生器(3)的输出端连通，所述密封基板(5)与反应室(4)抵接，密封基板(5)上设有沉积台(6)，密封基板(5)下方设有电动推杆(7)，所述电动推杆(7)与柜体(1)紧固连接，所述柜体(1)内设有散热系统(8)。