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附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备
申请人信息
- 申请人:上海征世科技股份有限公司
- 申请人地址:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
- 发明人: 上海征世科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311604966.1 |
| 申请日 | 2023/11/28 |
| 公告号 | CN117778999A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | C23C16/511 |
| 权利人 | 上海征世科技股份有限公司 |
| 发明人 | 满卫东; 梁凯; 贾元波 |
| 地址 | 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧 |
摘要文本
上海征世科技股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备，涉及金刚石生长技术领域，包括主体、承载台、水冷系统、微波系统、加热系统和供气系统，所述主体内部下方设置有真空泵，所述主体内部上方设置有混合管，所述混合管内部设置有活塞板，所述活塞板的内部设置有气泵，所述混合管的下方设置有承载台，所述承载台的下方设置有水冷系统，承载台的外侧设置有限压环，承载台位于限压环的内部上方。本发明在工作期间，混合气体在混合管内部经过时，混合气体内各种气体之间相互混合，同时对主体内部产生的石墨进行及时清理，配合气流内部的氢离子，对石墨粉末进行清理，以保证气流内部的碳原子浓度。。微信公众号专利查询网
专利主权项内容
1.附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备，包括主体(1)、承载台(4)、水冷系统、微波系统、加热系统和供气系统，所述主体(1)内部下方设置有真空泵，其特征在于：所述主体(1)内部上方设置有混合管(2)，所述混合管(2)内部设置有活塞板(3)，所述活塞板(3)的内部设置有气泵，所述混合管(2)的下方设置有承载台(4)，所述承载台(4)的下方设置有水冷系统，承载台(4)的外侧设置有限压环(5)，承载台(4)位于限压环(5)的内部上方；所述混合管(2)与活塞板(3)之间滑动连接，混合管(2)的外侧设置有两组管道，混合管(2)通过两组管道分别与供气系统和限压环(5)相连通。 该数据由<马克数据网>整理