一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶金刚石生长设备
申请人信息
- 申请人:上海征世科技股份有限公司
- 申请人地址:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
- 发明人: 上海征世科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶金刚石生长设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311528483.8 |
| 申请日 | 2023/11/16 |
| 公告号 | CN117604630A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | C30B25/16 |
| 权利人 | 上海征世科技股份有限公司 |
| 发明人 | 满卫东; 龚闯 |
| 地址 | 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧 |
摘要文本
上海征世科技股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶金刚石生长设备，涉及金刚石生长领域。本发明包括电离室、微波系统、电离筒、控制器、换热器、供气管道和供料气泵，所述电离筒设置于电离室内部，所述供料气泵出气口与换热器底部进气口之间设置有供气结构。本发明中安装的供气结构不但起到控制原料气在电离筒、换热器、供料气泵之间循环流动作用，还保证原料气供给排出平衡，对原料气进行冷却降温；旋转的散气管和多个流量控制阀配合控制电离筒内部原料气浓度均匀的分布，而且上部驱动组件控制往复推动组件工作使电离筒进行振动，避免电离筒内部粘黏金刚石导致的金刚石生成质量下降，保证金刚石生成的质量。 百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种附带原料气浓度分层控制功能的单晶金刚石生长设备，包括电离室(1)、微波系统(2)、电离筒(3)、控制器、换热器(4)、供气管道(7)和供料气泵(5)，所述电离筒(3)设置于电离室(1)内部，其特征在于：所述供料气泵(5)出气口与换热器(4)底部进气口之间设置有供气结构，供气结构控制原料气在电离筒(3)、换热器(4)、供料气泵(5)之间循环流动；供气结构包括上部驱动组件、散气管(9)和下部分流排料组件，所述散气管(9)内部从上到下依次设置有多个流量控制阀(10)、气压传感器(13)和分隔板(12)，上部驱动组件控制散气管(9)在电离筒(3)内部旋转；所述散气管(9)外侧底部开设有多个斜槽(14)，下部分流排料组件通过多个斜槽(14)抽取下沉到电离筒(3)内腔底部的原料气或金刚石颗粒；所述散气管(9)顶部与上部驱动组件之间设置有第一伸缩管(8)，所述散气管(9)底部与下部分流排料组件之间设置有第二伸缩管(29)；上部驱动组件与电离筒(3)之间设置有往复推动组件，第一伸缩管(8)和第二伸缩管(29)安装的电离筒(3)被往复推动组件控制在电离室(1)内部上下振动。