一种温度自补偿的MEMS光纤应变传感器

专利主权项内容

1.一种温度自补偿的MEMS光纤应变传感器，其特征在于，包括：
支撑基体，被构造成对角线相互垂直且四条边长度相等的四边形框架结构；
第一器件，包括第一器件自由端和第一器件约束端，所述第一器件约束端被设置成固定在所述支撑基体的四边形框架结构的长边的一端上，所述第一器件自由端朝向靠近所述支撑基体的中心方向；
第二器件，包括第二器件自由端和第二器件约束端，所述第二器件约束端被设置成固定在所述支撑基体的四边形框架结构的长边的另一端上，所述第二器件自由端朝向远离所述支撑基体的中心方向；
其中所述支撑基体与所述第二器件被构造成由线性热膨胀系数一致的第一金属材料构成，所述第一器件被构造成由线性热膨胀系数高于第一金属材料的第二金属材料构成；所述第一器件包括由第一金属管包覆的第一准直透镜，所述第一金属管由所述第一金属材料构成；所述第二器件包括由第二金属管包覆的第二准直透镜，所述第二金属管由所述第二金属材料构成。