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基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法
摘要文本
中国科学院光电技术研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器。其中，所述处理器根据预存程序设置OLED显示屏显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件表面反射后的正弦条纹像经过显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被相机采集。待测光学元件表面存在疵病的位置会有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降。所述处理器对采集到正弦条纹图进行分析，获取所述待测曲面元件表面面形以及缺陷信息。
专利主权项内容
1.一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置，其特征在于，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器；所述处理器连接所述OLED显示屏和所述相机，所述处理器根据预存程序进行参数设置使所述OLED显示屏产生水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦性条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件的表面反射后的正弦的条纹像经过所述显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被所述相机采集；待测光学元件的表面存在疵病的位置具有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降；所述处理器对采集到含有相位分布的突变的正弦条纹图进行分析，获取所述待测曲面元件的表面面形以及缺陷信息。 来自：
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311697036.5 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117607053A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | G01N21/01 |
| 权利人 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 发明人 | 赵文川; 李明泽; 侯溪; 胡小川; 周杨; 李梦凡 |
| 地址 | 四川省成都市双流350信箱 |