基片真空镀膜角度可调多级行星工件架机构

专利主权项内容

1.基片真空镀膜角度可调多级行星工件架机构，其特征在于：包括连接套筒(2)和自由穿过该连接套筒(2)的第一转轴(1)，在该连接套筒(2)上焊接有第一固定齿轮(4)；在所述的第一转轴(1)设置有第一转盘(3)，在该第一转盘(3)上设置有多个第二轴套，并通过轴承配合有第二转轴(6)，所述的第二转轴(6)上端设置有第一小齿轮(5)，下端设置有第一锥齿轮(7)，所述的第一小齿轮(5)与第一固定齿轮(4)啮合；所述的第一转盘(3)下部还设置有角度调节机构，该角度调节机构连接有基片旋转机构，所述的角度调节机构与第一锥齿轮(7)配合；所述的角度调节机构包括与第一转盘(3)连接的安装架(8)，在该安装架(8)上设置有铰轴(9)，在所述的铰轴(9)上铰接有连接板(10)，所述的基片旋转机构安装在该连接板(10)上；在所述的铰轴(9)上还套设有第二锥齿轮(11)，该第二锥齿轮(11)分别与第一锥齿轮(7)和基片旋转机构配合；在所述的安装架(8)上设置有螺纹座，该螺纹座螺纹配合有螺纹调节杆(12)，所述的螺纹调节杆(12)的一端与连接板(10)的侧部抵触。