一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法

专利主权项内容

1.一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法，包括通过公自转模块(2)来调整谐振子(4)角度，镀膜时，启动公自转模块(2)，使谐振子(4)围绕公转轴线公转的同时围绕自身的自转轴线进行自转，其特征在于：还包括以下步骤：步骤1，预处理，对谐振子(4)的待镀膜表面进行预处理，并将预处理后谐振子(4)通过偏转模块(3)安装在公自转模块(2)上；步骤2，预加热，步骤1完成后，将谐振子(4)的待镀膜表面加热升温至设定温度；步骤3，步骤2完成后，打开坩埚挡板，调节束流旋钮至坩埚内观察到光斑，并调节光斑至坩埚中央，待束流速度达到预定速率后进行预溅，再待预溅速度稳定后打开衬底挡板进行生长镀膜；其中，偏转模块(3)的偏转过程包括第一偏转模式与第二偏转模式，第一偏转模式中，偏转模块(3)保持固定，公自转模块(2)保持转动，坩埚通过转动模块绕其轴线进行转动，在第一偏转模式进行过渡层蒸镀；第二偏转模式中，谐振子(4)通过偏转模块(3)进行角度调节，公自转模块(2)保持转动，坩埚通过转动模块绕其轴线进行转动并同步进行角度调节，在第二偏转模式中进行靶料层蒸镀。