一种用于微波远程等离子体源自动点火装置

专利主权项内容

1.一种用于微波远程等离子体源自动点火装置，其特征在于：包括连接座(2)和点火组件，所述连接座(2)与炬管(1)连接，所述点火组件与所述连接座(2)连接、且封堵所述连接座(2)远离所述炬管(1)的一端，所述炬管(1)、所述连接座(2)和所述点火组件配合形成点火腔室(21)，所述炬管(1)上开设有连通所述点火腔室(21)与所述炬管(1)内部的通孔(11)；所述点火组件包括陶瓷筒(4)、放电插针(5)和屏蔽筒(7)，所述陶瓷筒(4)套设在所述放电插针(5)上、并与所述放电插针(5)连接，所述陶瓷筒(4)的外壁与所述连接座(2)连接，所述放电插针(5)电连接有高压电源(6)；所述高压电源(6)电连接有高压开关；所述屏蔽筒(7)设置在点火腔室(21)内，所述屏蔽筒(7)与所述连接座(2)连接，所述屏蔽筒(7)将所述点火腔室(21)隔离成放电腔室(211)和充气腔室(212)，所述充气腔室(212)与所述通孔(11)连通，所述屏蔽筒(7)上开设有连通所述放电腔室(211)与所述充气腔室(212)的发射孔(71)；所述放电插针(5)远离所述高压电源(6)的一端伸入所述放电腔室(211)内，所述屏蔽筒(7)接地；所述连接座(2)连接有用于输送气体的输气组件(8)，所述输气组件(8)的一端与气源连通、另一端与所述充气腔室(212)连通。